Dieses moderne Lehr- und Nachschlagewerk stellt die Funktionsweise und elektronischen Eigenschaften der wichtigsten Prinzipien des MOS-Transistors- insbesondere f}r den VLSI- Bereich - umfassend dar. Verst{ndliche und zusammenfassend wertende Darstellung des Gleichstrom-, Wechselstrom-, Frequenz- und Schaltverhaltens des MOS-Transistors einschlie~lich der jeweiligen Transistormodelle. Betonte Behandlung der Besonderheiten f r den VLSI-Bereich (Einflu~ kleiner Abmessungen, Submikrometermodellierung, Einflu~ typischer Technologieschritte). Umfassendes Literaturverzeichnis bietet vielf{litge Vertiefungsm|glichkeiten.