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Boekdetails

Serie: IPA-IAO - Forschung und Praxis
Ondertitel: IPA-IAO - Forschung und Praxis
Formaat: Paperback / softback
Uitgever: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Imprint: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K
Auteur: Oliver Morlok, Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K, Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
ISBN-13: 9783540645672
Verschijningsdatum: 1998-06-03
Taal: German
Afmetingen: 155 mm × 235 mm
Land van herkomst: US

Paperback / softback

Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf

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